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WIR LÖSEN IHRE HERAUSFORDERUNGEN
DER ZUKUNFT ...


Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für fast jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum.

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Hubwerke überwinden Höhendifferenzen in der Gesamtanlage von bis zu 250mm oder heben Kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalg gedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet

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Vakuum Loadlocks für einzelne Substrate und Kassetten garantieren die flexible Materialeinschleusung 

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