Substrate in Vakuum bewegen ohne Roboter
Unser M-Drive kann ohne Übertreibung als eine Revolution des Vakuumhandlings bezeichnet werden. Er transportiert Wafer und andere Materialien berührungslos und ohne jede Reibung äußerst flexibel in kleinen und großen Vakuumkammern. Es werden weder Durchführungen noch Lager, Fette oder klassische Antriebselemente verwendet.
Innerhalb der Vakuumkammer entstehen also keine Partikel oder Lecks. Gerade im Vakuum, wo kein Airflow für Reinheit sorgen kann, zeigt dieses System seine besonderen Stärken.
Basis des Systems ist ein Planarmotor, welcher die Läufer im Vakuum durch Magnetismus anhebt und fortbewegt. Im Vergleich zu einem Scara Roboter hat das System eine enorme Flexibilität. Wo ein Roboter nur einen sehr begrenzten Arbeitsbereich besitzt, besticht der M-Drive durch beliebige Fahrwege. Unser M-Drive ist die 2-dimensionale Erweiterung von linearen Systemen zum Vakuumtransfer und setzt somit Maßstäbe in der Vakuumautomatisierung.
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