Vakuum-Handling-Plattform

MAFU Robotics bietet eine umfassende Lösung zum Materialhandling in besonderer Umgebung. Unsere Hochvakuum-Handlingsysteme bewähren sich auch im Reinraum. Sie sind geeignet für Standardsubstrate aber auch für Substrate nicht standardisierter Größen und Gewichten. Egal ob Sie einen CVD, PVD, Ätzprozesse oder Messtechnik im Vakuum mit Material versorgen wollen, wir bieten Ihnen die passende Lösung dafür an. Unsere Vakuumkammern sind mit Hochleistungsrobotern ausgerüstet, die einen sicheren Vakuum-Transfer gewährleisten.

Technische Daten

Vakuum Niveau 1x10e-7 mbar
Kammermaterial Aluminium / VA
Schleusenventile VAT Ventile rechteckig / rund
Vakuum Technik Pfeiffer / Leybold
Transport System MAFU R-Drive Robot

 

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