MAFU Robotics bietet eine umfassende Lösung zum Materialhandling in besonderer Umgebung. Unsere Hochvakuum-Handlingsysteme bewähren sich auch im Reinraum. Sie sind geeignet für Standardsubstrate aber auch für Substrate nicht standardisierter Größen und Gewichten. Egal ob Sie einen CVD, PVD, Ätzprozesse oder Messtechnik im Vakuum mit Material versorgen wollen, wir bieten Ihnen die passende Lösung dafür an. Unsere Vakuumkammern sind mit Hochleistungsrobotern ausgerüstet, die einen sicheren Vakuum-Transfer gewährleisten.
Technische Daten
| Vakuum Niveau | 1x10e-7 mbar |
| Kammermaterial | Aluminium / VA |
| Schleusenventile | VAT Ventile rechteckig / rund |
| Vakuum Technik | Pfeiffer / Leybold |
| Transport System | MAFU R-Drive Robot |
Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unsere Aligner sind mit einer präzisen Sensorik zur Erkennung beliebiger Merkmale wie Notch, Flat, Kanten oder Ecken ausgestattet.
Vakuum Load locks für einzelne Substrate und Kassetten garantieren die flexible Materialeinschleusung
Mit unserem Vakuum SCARA Roboter bewegen Sie auch schwere Substrate und ungewöhnliche Formen sicher im Hochvakuum in Ihren Prozess oder Ihre Metrologie Applikation.