Der MAFU Probentisch positioniert Ihre Proben im Hochvakuum (HV) und Ultrahochvakuum (UHV) sowie auch im extremen Hochvakuum (XHV) in der XY Ebene, ohne dass Sie Durchführungen in Ihrer Vakuumkammmer benötigen.

Ob man eine einzelne UHV-Kammer beladen oder mehrer Prozesskammern verketten will, das modulare M-Drive Transportsystem bietet hierfür die sowohl einfachste, wie auch die technisch beste Lösung an.