Modulares UHV Transportsystem

Ob man eine einzelne UHV-Kammer beladen oder mehrer Prozesskammern verketten will, das modulare M-Drive Transportsystem bietet hierfür die sowohl einfachste, wie auch die technisch beste Lösung an. Der Baukasten verfügt über alle wichtigen Standardmodule um jeden Punkt in der Ebene mit einer bemerkenswerten Genauigkeit zu erreichen. Dies erfordert keine Kabel und komplexe Mechanik innerhalb des UHV-Bereichs.

Download Datenblatt M-Drive T 160 A