Vakuum Load lock für einzelne Substrate und Kassetten ermöglichen flexible Materialeinschleusung. Dabei ist die Höhe des Substrats nur durch die Höhe des Gateventils begrenzt. Die Load locks können mit Sensorik zur Belegungserkennung, Lageüberprüfung und Material ID Erkennung ausgestattet werden.
Technische Daten
| Vacuumbereich | 1x10e-7 mbar |
| Leckrate | 1x10e-8 mbar l/s |
| Mapping | optional |
| Betriebstemperatur | 10-80 °C |
| Max. Ausheiztemperatur | 120 °C |
| Slideoutsensor | optional |
| Substrat | max. 250x250 mm |
| Vakuumpumpen | Turbo, Kryo, oder nur Vorpumpen nach Kundenanforderungen |