Unser M-Drive kann ohne Übertreibung als eine Revolution des Vakuumhandlings bezeichnet werden. Er transportiert Wafer und andere Materialien berührungslos und ohne jede Reibung äußerst flexibel in Vakuumkammern.
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WIR LÖSEN IHRE HERAUSFORDERUNGEN
DER ZUKUNFT ...
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Mit unserem Vakuum SCARA Roboter bewegen Sie auch schwere Substrate und ungewöhnliche Formen sicher im Hochvakuum in Ihren Prozess oder Ihre Metrologie Applikation.
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MAFU bietet eine vakuumtaugliche, kabellose Kamera an, die an jeder beliebigen Stelle der Vakuumkammer platzierbar ist. Sie ist ein starkes Werkzeug beim Einrichten oder bei der Fehlersuche.
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Hubwerke überwinden Höhendifferenzen in der Gesamtanlage von bis zu 200mm oder bewegen kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalg abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet.
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Sich bewegende Sensorik im Vakuum war bislang ein schlecht gelöstes Problem. Moderne CPUs mit geringem Energieverbrauch und leistungsstarken Funkmodulen bieten hier die Lösung.
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Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unsere Aligner sind mit einer präzisen Sensorik zur Erkennung beliebiger Merkmale wie Notch, Flat, Kanten oder Ecken ausgestattet.
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