MAFU bietet eine vakuumtaugliche, kabellose Kamera an, die an jeder beliebigen Stelle der Vakuumkammer platzierbar ist. Sie ist ein starkes Werkzeug beim Einrichten oder bei der Fehlersuche.

Hubwerke überwinden Höhendifferenzen in der Gesamtanlage von bis zu 200mm oder bewegen kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalg abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet.