F-Drive Aligner

Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unsere Aligner sind mit einer präzisen Sensorik zur Erkennung beliebiger Merkmale wie Notch, Flat, Kanten oder Ecken ausgestattet. Zusätzlich ist die Erweiterung mit einer Sensorik zur Erkennung von IDs möglich. Durch die Konfigurierbarkeit können wir nach Kundenanforderung das beste Verhältnis von Genauigkeit zu Geschwindigkeit erreichen.

Download Datenblatt F-Drive AF200A

Technische Daten

Vacuum-Niveau 1x10e-7 mbar
Leckrate 1x10e-9 mbar l/s
Tragkraft 1000 g
Zentriergenauigkeit 0,1 mm
Drehgenauigkeit 0,7 mrad
Geschwindigkeit 200 °/s

 

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