Die Linearachse E-Drive 400 wurde für die Anbindung klassischer Load Locks oder Prozesskammern an unser M-Drive entwickelt. Sie kann auch gut für allgemeine Be- und Entladeaufgaben eingesetzt werden. Sie schließt die Lücke zwischen manuellem Einlegen oder manuellen Manipulatoren  und aufwendig automatisierten Mehrachsbewegungen.
Durch die Vollmetallausführung und die Ausheizbarkeit Sie ist bei allen Vakuumdrücken bis in den XHV-Bereich einsetzbar.

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