Aligner

Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl als Vakuum-Aligner wie auch in Atmosphäre. Unsere Aligner sind mit einer Sensorik auf Basis einer industriellen Bildverarbeitung ausgestattet. Damit sind wir flexibel in der Erkennung jeglicher Markierungen und können auch nach Kundenanforderung das beste Verhältnis von Genauigkeit zu Geschwindigkeit erreichen. Weiterhin bietet diese Variante umfassende Diagnosemöglichkeiten.

Technische Daten

Vacuumbereich 10e-7 mbar
Leckrate 10e-9 mbarl/s
Tragkraft 1800g
Sensor Kamera
Transferport 300mm
Betriebstemperatur 10-90 °C
Max. Ausheiztemperatur 120 °C
Substratpräsenzsensor Kamera
Zentriergenauigkeit 0,2mm
Drehgenauigkeit 0,1mrad
Geschwindigkeiten Phi:200°/s
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