Vakuum Roboter

Mit unserem Vakuum SCARA Roboter bewegen Sie auch schwere Substrate und ungewöhnliche Formen sicher im Hochvakuum in Ihren Prozess oder Ihre Metrologie Applikation. Dabei ist die Kontamination des Vakuums auf ein Minimum reduziert. Zahlreiche Schnittstellen und ein standardisiertes Interface machen die Integration einfach. Sie können den Roboter sowohl individuell programmieren als auch im Pick- and Place Modus einteachen und betreiben.

Technische Daten

Vakuum Niveau 1x10e-7 mbar
Leckrate 1x10e-9 mbar l/s
Tragkraft 10 kg
Reichweite 900 mm
Z-Hub 50 mm
Schnittstelle Ethernet
Versorgung 100 - 240 V

 



Erweiterungsfunktionen




Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unsere Aligner sind mit einer präzisen Sensorik zur Erkennung beliebiger Merkmale wie Notch, Flat, Kanten oder Ecken ausgestattet.

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MAFU Robotics bietet eine umfassende Lösung zum Materialhandling in besonderer Umgebung. Unsere Hochvakuum-Handlingsysteme bewähren sich auch im Reinraum.

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Vakuum Load locks für einzelne Substrate und Kassetten garantieren die flexible Materialeinschleusung 

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