Unser M-Drive kann ohne Übertreibung als eine Revolution des Vakuumhandlings bezeichnet werden. Er transportiert Wafer und andere Materialien berührungslos und ohne jede Reibung äußerst flexibel in Vakuumkammern.

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Der MAFU Probentisch positioniert Ihre Proben im Hochvakuum (HV) und Ultrahochvakuum (UHV) sowie auch im extremen Hochvakuum (XHV) in der XY Ebene, ohne dass Sie Durchführungen in Ihrer Vakuumkammmer benötigen.

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Ob man eine einzelne UHV-Kammer beladen oder mehrer Prozesskammern verketten will, das modulare M-Drive Transportsystem bietet hierfür die sowohl einfachste, wie auch die technisch beste Lösung an.

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