Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unsere Aligner sind mit einer präzisen Sensorik zur Erkennung beliebiger Merkmale wie Notch, Flat, Kanten oder Ecken ausgestattet.

Bei Drehdurchführungen mit Leckraten < 10-8 mbar l/s kommen hauptsächlich ferrofluidisch gedichtete Systeme zum Einsatz. MAFU bietet für solche Fälle eine deutlich kostengünstigere Lösung an.