MAFU Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 200mm oder heben kundenspezifische Kassetten.

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Die Linearachse E-Drive 400 wurde für die Anbindung klassischer Load Locks oder Prozesskammern an unser M-Drive entwickelt. Sie kann auch gut für allgemeine Be- und Entladeaufgaben eingesetzt werden.

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