MAFU Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 300mm oder heben kundenspezifische Kassetten.

Die Linearachse E-Drive 400 wurde für die Anbindung klassischer Load Locks oder Prozesskammern an unser M-Drive entwickelt. Sie kann auch gut für allgemeine Be- und Entladeaufgaben eingesetzt werden.