Loadlocks

Vakuum Loadlocks für einzelne Substrate und Kassetten garantieren die flexible Materialeinschleusung. Dabei ist die Höhe des Substrats nur durch das Gateventil begrenzt. Die Loadlocks können mit Sensorik zur Belegungserkennung, Lageüberprüfung der Substrate und Material ID Erkennung ausgestattet werden

Technische Daten

Vacuum level 5*10e-7 mBar
Leckrate 10e-8 mBarl/s
Tragkraft 5000g
Hub 300mm
Mapping optional
Betriebstemperatur 10-90°C
Max. Ausheiztemperatur 120°C
Slideoutsensor optional
Substrat Max. 250x250mm
Vakuumpumpen Turbo, Kryo, oder nur Vorpumpen nach Kundenanforderungen
Geschwindigkeiten Z:100mm/s
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