Loadlock

Vakuum Loadlock für einzelne Substrate und Kassetten ermöglichen flexible Materialeinschleusung. Dabei ist die Höhe des Substrats nur durch die Höhe des Gateventils begrenzt. Die Loadlocks können mit Sensorik zur Belegungserkennung, Lageüberprüfung und Material ID Erkennung ausgestattet werden.

Technische Daten

Vacuumbereich 5*10e-7 mBar
Leckrate 1x10e-8 mbar l/s
Mapping optional
Betriebstemperatur 10-80°C
Max. Ausheiztemperatur 120°C
Slideoutsensor optional
Substrat Max. 250x250mm
Vakuumpumpen Turbo, Kryo, oder nur Vorpumpen nach Kundenanforderungen
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