Aligner

Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für fast jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unser Aligner arbeiten  mit einer Sensorik auf Basis einer industriellen Bildverarbeitung. Damit sind wir flexibel in der Erkennung und können auch nach Kundenanforderung das beste Verhältnis von Genauigkeit zu Geschwindigkeit erreichen. Gleichzeitig bietet diese Variante eine umfassende Diagnose und ermöglicht die Erkennung fast aller gängigen Markierungen auf Ihrem Substrat.

Technische Daten

Vacuum level 10e-7 mBar
Leckrate 10e-9 mBarl/s
Tragkraft 1800g
Sensor Kamera
Transferport 300mm
Betriebstemperatur 10-90°C
Max. Ausheiztemperatur 120°C
Substratpräsenzsensor Kamera
Zentriergenauigkeit 0,2mm
Drehgenauigkeit 0,1mrad
Geschwindigkeiten Phi:200°/s
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